Статьи

31.01.2023 Нейтрализация процессных газов, применяемых в технологическом оборудовании при производстве ИС
На примере разработанного жидкостного скруббера показаны результаты экспериментов по поглощению скруббером основных реагентов до уровня ПДК.

30.06.2022 Стабилизация давления внутри вакуумной камеры с применением электронного регулятора давления
Статья посвящена разработке и исследованию электронных регуляторов расхода давления, работающих в режиме "до себя" и "после себя"

15.12.2021 Влияние газовакуумной системы технологического оборудования на качество выпускаемых изделий в микроэлектронике
Значительное влияние на качество выпускаемых изделий оказывает газовакуумная система.  Какие компоненты газовой системы и оборудование лучше использовать? Как избежать образования дефектов полупроводниковых структур?

01.06.2021 Шкафы газобаллонные для особочистых газов: особенности технологического применения
Газобаллонные шкафы являются неотъемлемой частью технологического оборудования, работающего с особочистыми, агрессивными и токсичными газами. В статье представлен концептуальный подход к применению данного вида оборудования, сформулированы требования к разработке газораспределительных панелей шкафов в зависимости от используемого газа, приведены конструкции унифицированных панелей, позволяющих за счет различного сочетания последних получать требуемую конфигурацию шкафа.

09.03.2021 Требования к газораспределительным системам при производстве современной оптоволоконной продукции
Автор - Сажнев С.В., к.т.н., генеральный директор ЭЛТОЧПРИБОР. Для Всероссийской конференции по оптоволоконной технике, 2009 г.

01.03.2021 Таблица поправочных коэффициентов для разных газов
Поправочные коэффициенты для пересчета на рабочий газ