Газовые технологические панели (ГТП) для различного оборудования микро- и наноэлектроники, фотоники, оптоэлектроники предназначены для компактного размещения устройств стабилизации газовых потоков, направляемых в оборудование.
Функция ГТП: подача газов в технологическое оборудование с заданными требованиями по давлению и расходу.
Как правило в ГТП подаются уже подготовленные по соответствующим критериям чистоты газы (особочистые и чистые газы). В этой связи все компоненты газовых каналов и устройства регулирования давления и расхода, запорная арматура выполнены по принципу непривносимой дефектности – в исполнении сверхчистом (UHP) и чистом (HP).
Конструктивно такие панели ГТП могут быть простыми и располагаться при этом непосредственно в технологическом оборудовании, вместе с тем сложные многоканальные газовые панели в шкафном или рамном исполнении с подключением к вытяжной производственной вентиляции обычно располагаются рядом с технологическим оборудованием. Сложные газовые технологические панели являются уникальными системами, полностью учитывающими требования технологического оборудования (например, ПХО, ПХТ, CVD), и разрабатываются исключительно по техническим заданиям (ТЗ) заказчика.
|