|
ШГБ-2А
- один канал подачи газа, два баллона ж (технологический и продувочный газ), с контроллером (ППЛК ОВЕН СПК 110) для автоматизации подготовки баллона к смене).
- два независимых канала подачи газов и, соответственно, два баллона, два контроллера ППЛК.
ШГБ-1А
- один канал подачи газа, один баллон с технологическим газом, продувка от внешнего источника продувочного газа, с контроллером ППЛК.
ШГБ-2ПА
- один канал непрерывной подачи газа (функция автоматического переключения баллонов), продувка от внешнего источника продувочного газа, с контроллером ППЛК для автоматизации подготовки баллонов к смене.
ШГБ-2П
- один канал непрерывной подачи газа (функция автоматического переключения баллонов), два баллона, продувка от внешнего источника продувочного газа, подготовка баллонов с опасными газами к смене в ручном режиме.
- один канал непрерывной подачи газа (функция автоматического переключения баллонов), два баллона, без функции подготовки баллонов к смене.
ШГБ-2
- один канал подачи газа, два баллона (технологический и продувочный газ), подготовка баллонов с опасными газами к смене в ручном режиме.
- два независимых канала подачи газов, два баллона, с функцией продувки.
- два независимых канала подачи газов, два баллона, без функции продувки.
ШГБ-1
- один канал подачи газов, один баллон, с функцией подготовки баллона к смене в ручном режиме (продувка от внешнего источника).
- один канал подачи газов, один баллон, без функции продувки.
|
Свойства технологических (процессных) газов - агрессивные, токсичные, пожаро- и взрывоопасные, - определяют требования безопасной эксплуатации источников таких газов. Газобаллонные шкафы (газовые кабинеты, gas cylinder cabinets) в качестве источников газов являются компактным и безопасным решением как для крупных производств, так и для небольших лабораторий.
Функции газобаллонных шкафов ШГБ:
- локализация газовых баллонов в закрытом пространстве металлического шкафа, подключаемого к вытяжной вентиляции;
- редуцирование давления газа, подача газа потребителю, продувка и откачка (вакуумирование) газовых панелей, установка датчика утечки, взвешивание баллона с газом в сжиженном состоянии, обогрев панелей для газов, конденсирующихся при температуре окружающей среды и т.д;
- блокирование аварийных ситуаций.
В зависимости от свойств газов выпускается несколько стандартных модификаций ШГБ. При запросе коммерческого предложения достаточно указать требуемую модель и газы, например:
- одноканальный шкаф ШГБ-2А-BCl3/N2 для подачи BCl3 с размещением в шкафу баллона со вспомогательным продувочным газом N2
- шкаф с двумя независимыми каналами ШГБ-2-C2F6-CHF3 для подачи C2F6 и CHF3 и без размещением в шкафу баллона со продувочным газом.
|
«ШГБ»
|
- шкаф газобаллонный,
|
|
«X»(*)
|
- кол-во баллонов в шкафу (1 или 2 баллона)
|
|
«XX»
|
- функциональные особенности:
|
- нет обозначения - шкаф в базовой модификации с ручным управлением
- «А» - функция автоматизации подготовки к смене баллона (продувка / вакуумирование)
- «П» - функция автоматического переключения баллонов для непрерывной подачи газа,
- «ПА» - функция автоматического переключения баллонов для непрерывной подачи газа с функцией автоматизации подготовки к смене баллона (продувка / вакуумирование).
«SiН4» - баллон с рабочим газом,
«N2» - баллон с продувочным газом (при необходимости).
(*) Трехбаллонные шкафы ООО «Элточприбор» не выпускает, учитывая задачу обеспечить бoльшую безопасность при эксплуатации шкафов с опасными газами. Вместо шкафа с тремя баллонами внутри – два из которых с технологическим газом, а третий с газом для продувки газовых панелей, – используется вариант двухбаллонного шкафа с технологическим газом с переключением баллонов и отдельно однобаллонный шкаф с продувочным газом. Такой подход позволяет минимизировать:
- контакт персонала с пространством, где находятся баллоны с опасными газами при смене баллона с продувочным газом,
- время работы шкафа с открытыми дверцами, т.е. с нарушенной вентиляцией,
- и, кроме того, двух- и однобаллонные шкафы проще в транспортировке и при установке.
|
ПРИМЕНЯЕМОСТЬ ШКАФОВ ШГБ ПО ПРИМЕРНОМУ ПЕРЕЧНЮ ГАЗОВ
« » - применяется,
« » - рекомендуется шкаф «А» с автоматизированным управлением
«+» - функциональные особенности применения
«–» - не применяется
«Весы» - непрерывное взвешивание баллонов со сжиженным газом (контроль количества газа в баллоне)
«Нагрев» - для конденсирующихся паров
«Отсечка» - аварийное отключение подачи газа от сигнала системы обнаружения утечек
|
ГАЗ
|
Весы
|
Нагрев
|
Отсечка
|
ШГБ-2,
ШГБ-1
|
ШГБ-2А,
ШГБ-1А
|
ШГБ-2ПА,
ШГБ-2П
|
|
Азот N2
|
–
|
–
|
–
|
|
–
|
|
|
Аммиак NH3
|
+
|
–
|
+
|
|
|
|
|
Арсин AsH3
|
+
|
–
|
+
|
|
|
|
|
Бромоводород HBr
|
+
|
–
|
+
|
|
|
|
|
Водород H2
|
–
|
–
|
+
|
|
–
|
|
|
Гексафторид вольфрама WF6
|
+
|
+
|
+
|
|
|
|
|
Диборан B2H6
|
+
|
–
|
+
|
|
|
|
|
Дихлорсилан SiH2Cl2
|
+
|
+
|
+
|
|
|
|
|
Закись азота N2O
|
+
|
–
|
+
|
|
|
|
|
Кислород O2
|
–
|
–
|
–
|
|
–
|
|
|
Метан CH4
|
–
|
–
|
+
|
|
–
|
|
|
Силан (моносилан) SiH4
|
–
|
–
|
+
|
|
|
|
|
Треххлористый бор BCl3
|
+
|
+
|
+
|
|
|
|
|
Трифторид азота NF3
|
+
|
+
|
–
|
|
–
|
|
|
Фосфин PH3
|
+
|
–
|
+
|
|
|
|
|
Хладон 14 (Тетрафторметан) CF4
|
+
|
–
|
–
|
|
–
|
–
|
|
Хладон 318С (Октофторциклобутан) C4F8
|
+
|
–
|
–
|
|
–
|
–
|
|
Хладон 218 (Октафторпропан) C3F8
|
+
|
–
|
–
|
|
–
|
–
|
|
Хладон 23 (Трифторметан) CHF3
|
+
|
–
|
–
|
|
–
|
–
|
|
Хлор Cl2
|
+
|
–
|
+
|
|
|
|
|
Хлористый водород HCl
|
+
|
–
|
+
|
|
|
|
|
Элегаз SF6
|
+
|
–
|
–
|
|
–
|
–
|
|
