Шкафы газобаллонные ШГБ

Свойства технологических (процессных) газов - агрессивные, токсичные, пожаро- и взрывоопасные, - определяют требования безопасной эксплуатации источников таких газов. Газобаллонные шкафы (газовые кабинеты, gas cylinder cabinets) в качестве источников газов являются компактным и безопасным решением как для крупных производств, так и для небольших лабораторий.

Функции газобаллонных шкафов ШГБ:

• локализация газовых баллонов в закрытом пространстве металлического шкафа, подключаемого к вытяжной вентиляции;
• редуцирование давления газа, подача газа потребителю, продувка и откачка (вакуумирование) газовых панелей, установка датчика утечки, взвешивание баллона с газом в сжиженном состоянии, обогрев панелей для газов, конденсирующихся при температуре окружающей среды и т.д;
• блокирование аварийных ситуаций.

В зависимости от свойств газов выпускается несколько стандартных модификаций ШГБ. При запросе коммерческого предложения достаточно указать требуемую модель и газы, например:

• одноканальный шкаф ШГБ-2А-BCl₃/N₂ для подачи BCl₃ с размещением в шкафу баллона со вспомогательным продувочным газом N₂;
• шкаф с двумя независимыми каналами ШГБ-2-C₂F₆-CHF₃ для подачи C₂F₆ и CHF₃ и без размещением в шкафу баллона со продувочным газом.

«ШГБ» - шкаф газобаллонный;
«X» (*) - количество баллонов в шкафу (1 или 2 баллона);
«XX» - функциональные особенности:

• нет обозначения - шкаф в базовой модификации с ручным управлением;
• «А» - функция автоматизации подготовки к смене баллона (продувка / вакуумирование);
• «П» - функция автоматического переключения баллонов для непрерывной подачи газа;
• «ПА» - функция автоматического переключения баллонов для непрерывной подачи газа с функцией автоматизации подготовки к смене баллона (продувка / вакуумирование).

«SiН4» - баллон с рабочим газом;
«N2» - баллон с продувочным газом (при необходимости).

(*) Трехбаллонные шкафы ООО «Элточприбор» не выпускает, учитывая задачу обеспечить бóльшую безопасность при эксплуатации шкафов с опасными газами. Вместо шкафа с тремя баллонами внутри – два из которых с технологическим газом, а третий с газом для продувки газовых панелей, – используется вариант двухбаллонного шкафа с технологическим газом с переключением баллонов и отдельно однобаллонный шкаф с продувочным газом. Такой подход позволяет минимизировать:

• контакт персонала с пространством, где находятся баллоны с опасными газами при смене баллона с продувочным газом;
• время работы шкафа с открытыми дверцами, т.е. с нарушенной вентиляцией;
• и, кроме того, двух- и однобаллонные шкафы проще в транспортировке и при установке.

ПРИМЕНЯЕМОСТЬ ШКАФОВ ШГБ ПО ПРИМЕРНОМУ ПЕРЕЧНЮ ГАЗОВ

«» - применяется,
«» - рекомендуется шкаф «А» с автоматизированным управлением

Опции

«Весы» - непрерывное взвешивание баллонов со сжиженным газом (контроль количества газа в баллоне)
«Нагрев» - для конденсирующихся паров
«Отсечка» - аварийное отключение подачи газа от сигнала системы обнаружения утечек

* Опции «Весы», «Нагрев», «Отсечка» - согласно техническим требованиям заказчика.

ГАЗ	ШГБ-2, ШГБ-1	ШГБ-2А, ШГБ-1А	ШГБ-2ПА, ШГБ-2П
Азот N2		–
Аммиак NH3
Арсин AsH3
Бромоводород HBr
Водород H2		–
Гексафторид вольфрама WF6
Диборан B2H6
Дихлорсилан SiH2Cl2
Закись азота N2O
Кислород O2		–
Метан CH4		–
Силан (моносилан) SiH4
Треххлористый бор BCl3
Тетрахлорид кремния SiCI4
Тетраэтилортосиликат (TEOS) Si(OC2H5)4	–	(ШГБ-2А)	–
Трифторид азота NF3		–
Фосфин PH3
Хладон 14 (Тетрафторметан) CF4		–	–
Хладон 318С (Октофторциклобутан) C4F8		–	–
Хладон 218 (Октафторпропан) C3F8		–	–
Хладон 23 (Трифторметан) CHF3		–	–
Хлор Cl2
Хлористый водород HCl
Элегаз SF6		–	–