Скруббер газовый жидкостный СГЖ-А-1

                                              

 

   Газовый скруббер СГЖ-А-1 предназначен для абсорбционной очистки отработанных газов в полупроводниковом производстве от опасных составляющих и имеет две основные функции:

• улавливание абсорбером водорастворимых газов,
• нейтрализация жидкости щелочным раствором.

Скруббер работает при атмосферном давлении - подключается к выходу вакуумного насоса, обслуживающего технологический реактор, и к вытяжной вентиляции предприятия.

Скруббер СГЖ-А-1 позволяет осуществлять замену технологической жидкости со сливом в обычную промышленную канализацию.

Скруббер сконструирован в шкафном исполнении, представляет собой металлический каркас, обшитый стальными листами, внутри которого расположены полипропиленовый двухступенчатый абсорбер, система циркуляции жидкости, система контроля и управления.

Спереди скруббер имеет распашную дверь с двумя смотровыми окнами и замком, сбоку (слева) - откидная панель скруббера обеспечивается набором датчиков давления, емкостными выключателями.

Скруббер с помощью программируемого логического контроллера (ПЛК) автоматически включается/выключается при запуске/остановке технологического оборудования, осуществляет постоянный контроль состояния жидкости по рН и температуре.

ПАРАМЕТРЫ	СГЖ-А-1
Максимальный газовый поток через абсорбер, л/ч	200
Вход газа	KF40, 3 канала
Выход газа	KF50, 1 канал
Слив в канализацию	Муфта DN40
Подача азота, л/мин	5...10
Подача воды, л/мин	2...4
Электропитание	220В / 50Гц / 0,4Вт
Вытяжная вентиляция	Ø150 мм / 100 м3/час
Габаритные размеры, мм, ШхГхВ	804х620х1900
Масса, кг, не более	250
Климатическое исполнение по ГОСТ 15150	УХЛ4

  Утилизация опасных газовых отходов в производстве микроэлектроники. Круглый стол по экологии.

Скруббер газовый жидкостный СГЖ-А-1

Статья: Нейтрализация процессных газов, применяемых в технологическом оборудовании при производстве ИС